Optimized electrochemical breakdown etching using temporal voltage variation for formation of nanopores in a silicon membrane

Bài báo khoa học đăng trên tạp chí trong danh mục SCI/SCIE/AHCI/SSCI (Q1)

Loại công bố: Bài báo khoa học đăng trên tạp chí trong danh mục SCI/SCIE/AHCI/SSCI (Q1)
Tên công bố: Optimized electrochemical breakdown etching using temporal voltage variation for formation of nanopores in a silicon membrane
Nơi công bố: —
Tên tạp chí: Sensors and Actuators : B. Chemical
Nhà xuất bản: —
Thời gian: 2020-12-29
Chỉ số tác động (IF): —
Tập (vol): —
Kỳ (issue): —
Trang: —
Tác giả liên hệ: Nguyễn Xuân Chung
Tác giả thứ nhất: Nguyễn Xuân Chung
Đồng tác giả: Hithesh Kumar Gatty, Xi Lu, Miao Zhang, Jan Linnros
Danh sách tác giả: Nguyễn Xuân Chung
Thuộc HĐ giáo sư: —
Đường dẫn: —
Tệp đính kèm: Optimized electrochemical breakdown etching using temporal voltage variation for formation of nanopores in a silicon membrane-N.X. Chung-2021.pdf